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営業種目

新たな取り組み(真空装置)

チタン製超高真空チャンバー

特長

  • シェル材は純チタンですが、ICFフランジは、チタン合金(特許品)を使い、ステンレス材以上の硬度を持ち、真空シールは市販の銅ガスケットでOKです。
  • 内面及び外面は経験豊富なバフ研磨技術と化学研磨により、Ra=0.2nm(ナノメートル)の面粗度を出しています。
  • 同一形状のステンレスチャンバーと比較した場合、目標真空に約半分の時間で到達します。

 

チタン製超高真空チャンバー
納入先
日本原子力研究開発機構、高エネルギー加速器研究機構
京都大学、電気通信大学、広島大学、山口大学

チタン製超高真空チャンバー関連のお問合せ先

 

新光産業株式会社 機械事業部 東工場
TEL: 0836-33-5131(代) FAX: 0836-33-5136
E-mail: kikai-h@ube-shinko.co.jp

 

新光産業株式会社 東京営業所
TEL: 03-3241-4353(代) FAX: 03-3241-4387
E-mail: tokyo@ube-shinko.co.jp

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